固態(tài)硅壓阻壓力傳感器的優(yōu)點：
（1） 靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變片高50～100倍，故相應的傳感器靈敏度很高，一般滿量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，應用成本相應較低。由于它是一種非機械結構傳感器，因而分辨率極高，國外稱之無限，即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制，一般均可達傳感器滿量程的十萬分之一以下。硅壓阻傳感器在零點附近的低量程段無死區(qū)，且線性優(yōu)良。
（1） 靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變片高50～100倍，故相應的傳感器靈敏度很高，一般滿量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，應用成本相應較低。由于它是一種非機械結構傳感器，因而分辨率極高，國外稱之無限，即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制，一般均可達傳感器滿量程的十萬分之一以下。硅壓阻傳感器在零點附近的低量程段無死區(qū)，且線性優(yōu)良。
（2） 精度高
由于固態(tài)壓阻壓力傳感器的感受，敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉換環(huán)節(jié)，所以不重復性和遲滯誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性，因此綜合靜態(tài)精度很高。
由于固態(tài)壓阻壓力傳感器的感受，敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉換環(huán)節(jié)，所以不重復性和遲滯誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性，因此綜合靜態(tài)精度很高。
（3）體積小、重量輕、動態(tài)頻響高
由于芯體采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。小尺寸芯片加上硅極高的彈性模數(shù)，敏感元件的固有頻率很高。在動態(tài)應用時，動態(tài)精度高，使用頻帶寬，合理選擇設計傳感器外型，使用帶寬可以從零頻至100千赫茲。
由于芯體采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。小尺寸芯片加上硅極高的彈性模數(shù)，敏感元件的固有頻率很高。在動態(tài)應用時，動態(tài)精度高，使用頻帶寬，合理選擇設計傳感器外型，使用帶寬可以從零頻至100千赫茲。
（4）溫度系數(shù)小
由于微電子技術的進步，四個應變電阻的一致性可做的很高，加之激光修調技術、計算機自動補償技術的進步，目前硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數(shù)已可達10-5/℃數(shù)量級,即在壓力傳感器領域已超過溫度系數(shù)小的應變式傳感器的水平。
由于微電子技術的進步，四個應變電阻的一致性可做的很高，加之激光修調技術、計算機自動補償技術的進步，目前硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數(shù)已可達10-5/℃數(shù)量級,即在壓力傳感器領域已超過溫度系數(shù)小的應變式傳感器的水平。
（5）性能穩(wěn)定、可靠性高
由于固態(tài)壓阻壓力傳感器工作彈性形變低至微應變數(shù)量級，彈性薄膜最大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環(huán)次以上。
由于固態(tài)壓阻壓力傳感器工作彈性形變低至微應變數(shù)量級，彈性薄膜最大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環(huán)次以上。
（6）安全防爆
由于固態(tài)壓阻壓力傳感器低電壓、低電流的低功耗特點，它是本質安全防爆型產品，可廣泛用于各種化工工業(yè)檢測控制等領域，具有最優(yōu)性價比。
由于固態(tài)壓阻壓力傳感器低電壓、低電流的低功耗特點，它是本質安全防爆型產品，可廣泛用于各種化工工業(yè)檢測控制等領域，具有最優(yōu)性價比。
（7）適應介質廣
由于硅的優(yōu)良化學防腐性能，與硅油的良好可兼容性，使得隔離式結構易于實現(xiàn)，即使非隔離型的壓阻壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。
由于硅的優(yōu)良化學防腐性能，與硅油的良好可兼容性，使得隔離式結構易于實現(xiàn)，即使非隔離型的壓阻壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。
